摘要: 在扫描电镜中,具有一定能量的电子束入射到被测样品上会产生很多信息。充分利用这些信息对于了解材料的结构及性能具有重要意义。静电式电子能量分析器是用于半导体材料及微电子器件分层体视及内窥的一种扫描电镜上的新型检测器。在此介绍了电子能量分析器的设计原理及能量分辨率的计算方法,并用计算机对电子能量分析器进行了辅助设计。软件用VisualBasic编写,界面友好,操作方便,可同时显示数值计算结果、电极形状及电子轨迹模拟结果,具有快速、准确、直观的优点。还给出一个用该软件设计的实例结果。